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产品描述
Ushio手动光刻设备UPE-1102LU主要应用于LED芯片(蓝白光,红黄光)研发和生产当中,并且对全自动生产线所产生的LED芯片破片有辅助生产和处理的功能。同时也能对应一些较为特殊材质的芯片如:GaAs,SiO2的研发及生产。
特点:
*可调整光刻间距,**限度的避免光刻板被污染。
*操作简易,任何操作人员都能在短时间内熟练掌握。
*产能高于一般同行业竞争对手,**可达80WPH;
*可调整光刻时间,调整光强,并可根据所需累计光量值自动补偿光刻时间(无需人工调整)。
*更具客户端的光刻工艺,可预先设定光刻频道,可**限度避免人为误操作的产生。
应用:
*LED,半导体的芯片生产和研发。